专利500

序号专利名称专利类型法律状态申请日期操作
1基于IAP平台的气路图实现方法及装置发明公布公布2021/01/19详情
2晶片传输装置发明公布公布2021/01/07详情
3数据读写方法及半导体加工设备的控制装置发明公布实质审查的生效2020/12/30详情
4半导体清洗设备发明公布实质审查的生效2020/12/28详情
5半导体工艺设备发明公布公布2020/12/25详情
6半导体加工腔室发明公布实质审查的生效2020/12/25详情
7进气结构及半导体沉积设备发明公布公布2020/12/25详情
8半导体清洗设备及其机械臂发明公布公布2020/12/25详情
9半导体设备及其承载装置发明公布公布2020/12/25详情
10半导体清洗设备中清洗液的温度控制方法及系统发明公布实质审查的生效2020/12/25详情
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1京ICP备05072291号-1bj-nmc.cn2022-09-30
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