专利52

序号专利名称专利类型法律状态申请日期操作
1校准装置、对准系统及对准方法发明公布公布2021/02/02详情
2一种方片边缘堆胶的去除方法发明公布实质审查的生效2020/10/29详情
3一种晶圆背面清洗装置、方法及清洗单元发明公布实质审查的生效2020/09/16详情
4涂胶显影设备发明公布实质审查的生效2020/08/03详情
5涂胶显影设备发明公布实质审查的生效2020/08/03详情
6一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置及方法发明公布实质审查的生效2020/07/02详情
7喷涂方法发明公布实质审查的生效2020/06/29详情
8一种晶圆基板的清洗装置及方法发明公布实质审查的生效2020/06/29详情
9一种晶圆上动态RRC涂覆节约光刻胶的方法发明公布实质审查的生效2020/06/24详情
10用于高深宽比深孔结构晶圆或薄胶喷涂晶圆的喷嘴装置和喷涂方法发明公布实质审查的生效2020/06/24详情
序号网站备案号网站域名审核通过日期
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